材料本身所具有的性能，必須通過正確的（de）熱處理手段來達到。隻有良好（hǎo）的熱處理手段，才能實現我（wǒ）們預想的性能期（qī）望。根據塑封模具材料性能要求，塑封模熱處理手段主要是高溫（wēn）淬火（huǒ）、深冷處理、高溫回火，並多次反複，通過這（zhè）些不同的（de）處理，達到最佳的模具性能。 
1、高溫淬火（huǒ） 
    為了提高材料的剛性和耐磨損性，一般（bān）材料（liào）均需加熱到1030℃以上。高溫下，各（gè）種合金元素充（chōng）分溶解於奧氏體內，以便在淬火時獲（huò）得高的基體硬度，同時為了保證零件不發生脫碳（tàn）氧化，相應采用了真空（kōng）處理。目前半導體行業（yè）內使用（yòng）的高速率氣淬淬火爐，可以在高真空條件下通過氮氣保護對工件進（jìn）行加熱，既保證了工件的脫碳氧化，又防止了合金元素的蒸（zhēng）發。同時采用200-500Kpa範圍內可調節氣體壓（yā）力，對（duì）工件進行淬火冷卻，在保證工件充分淬透的同時又減少了變形。 
2、深冷處理與高溫回火 
    高（gāo）合金鋼在淬火後，由於其（qí）馬氏體轉變點（Ms點）均高於室溫，為了提高硬度，保證尺寸穩定性，通常（cháng）要進行深冷處理和高溫回火（huǒ），以保證殘餘奧氏體充分轉變為穩定（dìng）的（de）回火馬氏體。我們將經過真空淬火後的工件，在室（shì）溫（wēn）至100℃之間進行校正，然後放入-140℃的深冷處理箱中進行深冷。工件（jiàn）在不出爐的情況（kuàng）下，可以在-140℃至230℃之間進行冷熱循環，保證工件不（bú）會因為進出爐而產生變形或開裂。同時（shí）由於采用氮氣（qì）保護也避免了工件在回火中的氧化開裂。目前對於（yú）D2類材料，我們通（tōng）常在深冷設備中直接完成-140℃深冷至230℃回火的3次循環。對於高於230℃回火的鋼種如SAM97、ELmax、ASP23等，我們采用了（le）真空回（huí）火爐，在抽真空後，加（jiā）入99.999%的高（gāo）純氮氣（qì）作（zuò）為（wéi）介質，通過吹風方向的改（gǎi）變來形成對流，保證了工件的溫度均勻性，同時節省了回火時間。 
3、其它（tā）輔（fǔ）助手段 
    在提高了淬（cuì）火回火及（jí）深冷處理質（zhì）量的同時，我們同時對（duì）工件的其它環節（jiē）給予了充分（fèn）的重視，過去（qù）認為（wéi）的熱處理工件潔淨（jìng）度與處理無關的觀點已經被拋棄，增加潔淨預處理。即將（jiāng）未入爐零件，通過真空清洗（xǐ）機進行真空去油、脫脂、幹燥。去（qù）除了工件的各（gè）類加工（gōng）油汙和碎屑，保證了（le）入爐工件不會帶入其它雜質，避免了在高溫加熱時雜質（zhì）分解，汙染爐內環境和工件本身，從（cóng）微觀上保證了工件的組織潔（jié）淨度和處理質量的完美性，提高了工（gōng）件的使用壽命。

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