材料本身所具有（yǒu）的性能，必須通過正確的熱處理手段來達到。隻有良好的熱處理手段，才能實現我們預（yù）想的性能期望。根據塑封模具材料性能要求，塑（sù）封模熱處理手段主要是高溫淬火、深冷處理、高溫回火（huǒ），並多次反複，通過這些不同的處理，達到最佳的模具性能。 
1、高溫淬火 
    為了提高材料的剛性和耐磨損性，一般材料均需加熱到1030℃以（yǐ）上。高溫下，各種合金元素（sù）充分溶解於奧氏體內，以便在淬火時獲得高的基（jī）體硬度，同時為了保證零件不發生脫碳氧化，相應采用了（le）真空處理。目前半導（dǎo）體行業內使用的高（gāo）速率氣淬淬火爐，可以在高真空條件下通過氮氣保護對工件進行加熱，既保證了工件（jiàn）的脫碳氧化，又防（fáng）止了合金元素的蒸發。同時采用200-500Kpa範圍內可調節氣體壓力，對工件進（jìn）行淬火冷卻（què），在保證工件充分（fèn）淬透的同時又減少了變形。 
2、深冷處理與高溫回火 
    高合金鋼在淬火後，由於其馬氏體轉變點（Ms點）均高於室溫，為了提高硬度，保（bǎo）證尺寸穩定性，通常要進行深冷處理和高溫回火，以保證殘餘奧氏體充分轉變為穩定的回火馬氏體。我們將經過真空淬火後的工件，在室溫至100℃之間進行校正，然後放入-140℃的深冷處理箱（xiāng）中進行深冷。工件在不出爐的情況下，可以在-140℃至（zhì）230℃之間進行冷熱循環，保證工件不會因（yīn）為進出爐而（ér）產生變（biàn）形或開裂。同時由於采用（yòng）氮氣保（bǎo）護也避免了工件在回火中的氧化開裂。目（mù）前對於D2類材料（liào），我們通常在深冷設備中直接完成-140℃深冷至230℃回火的3次循環（huán）。對於高於230℃回火的鋼種如（rú）SAM97、ELmax、ASP23等，我（wǒ）們采用了真空回火爐，在抽真空後，加入99.999%的高純氮氣作為介質，通（tōng）過吹風方向的改變來形成對流，保證了工件的溫（wēn）度均勻性，同（tóng）時（shí）節省了回火時間。 
3、其它輔助手段 
    在提高了淬火回火及深冷處理質量的同時，我們同時對工件的其它（tā）環節給予了（le）充分（fèn）的重（chóng）視，過去（qù）認為的（de）熱處理工件潔淨度與處理無關（guān）的觀點已經被拋棄，增加潔淨預處理。即將未入爐（lú）零件，通過真空清洗機進行真空去油、脫脂、幹燥。去除了（le）工件的各類（lèi）加工油汙和碎（suì）屑，保證了入爐工件（jiàn）不會（huì）帶入其它雜質，避免了在高溫加熱時雜質分解，汙染爐內（nèi）環境（jìng）和工件本身，從微觀上保證了工（gōng）件的組（zǔ）織潔淨度和處理質量的完美性，提高了工件的使用壽命。

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