一、 產品描述

　　SuperView W1光學3D表麵輪廓（kuò）儀（yí）是一款用於對（duì）各種精密器件及材料表麵進行亞納米級（jí）測（cè）量的檢測儀器。它是以白光幹涉技（jì）術為原理、結合精（jīng）密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表麵進行（háng）非接觸式掃描並建立表麵3D圖（tú）像，通過係統軟件對器件表麵3D圖（tú）像（xiàng）進行數據處理與分析，並獲取反映器件表麵質量的2D、3D參數，從而實現器件表麵形貌3D測量的光（guāng）學檢測儀器。

　　SuperView W1光學3D表麵輪廓儀可廣泛應用於（yú）半導體製造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃（lí）屏（píng）及其精密配件（jiàn）、光學加工、微納材料及製造、汽車零部件、MEMS器件等超（chāo）精密加工行業及（jí）航空航天、國防軍工、科研（yán）院所等（děng）領域中。可測各類從超光滑（huá）到粗（cū）糙、低反射率到高反射率（lǜ）的物（wù）體表麵，從納米到微米級別工（gōng）件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300餘種2D、3D參數作（zuò）為評價標準。

二、產品功能

1）係統光源及（jí）壽命：雙LED光源（白光和綠光），10萬小時超長壽命，終身無需更換（huàn）；

2）測量模式：垂直掃描幹涉模式（VSI），相移幹涉模式（shì）（PSI），結合VSI和（hé）PSI的（de）自適應通用測（cè）量模式（USI）；

3）多區（qū）域自動分析：自（zì）動獲取圖案化形貌區域的三（sān）維信息（高度、寬度、麵積、體積、粗糙度、傾角等），同時具有自動統計分（fèn）析功能。

4）具備各種類型樣品表麵微觀形貌的3D輪廓重建與測量功（gōng）能；

5）具備表麵粗糙度和微觀輪廓的檢（jiǎn）測功能，粗糙度（dù）範圍涵蓋0.1nm到數十微米的級別；

6）具備校平、去除形（xíng）狀、去（qù）噪、濾波等數據處理功能；

7）具備粗糙度分析、輪廓分析、結構分析、功（gōng）能分析等（děng）表麵參數分析功能；

8）具備自動對焦、自動測量、自動多區域測量、自動拚接測量等自動化功能；

9）具備一鍵分析、多文件分析等快速、批量分析功能；

10）具備word、excel等（děng）數據報（bào）表導出功（gōng）能。

三、應（yīng）用領域

　　對各種產品（pǐn）、部件和材料表麵的平麵度、粗糙度、波紋度、麵形輪廓、表麵缺陷、磨損情況、腐蝕（shí）情況、孔隙間隙、台階高度（dù）、彎曲變（biàn）形情況、加工情況等表麵（miàn）形貌特征進行測量和（hé）分析。

應用範例：

半導（dǎo）體.拋光矽片、減薄矽片、晶圓IC
3C電子（zǐ）.藍寶石玻璃粗糙度、手（shǒu）機（jī）金屬殼模具瑕（xiá）疵、手機油墨屏高度差
超精密加（jiā）工.光學透鏡	精密加工.發動機葉片
精密加工（gōng）.金字塔型金剛石磁頭	標準（zhǔn）樣塊（kuài）.單刻線台階、多刻線（xiàn）粗糙度

四、性能（néng）特色

1.高精度、高重複（fù）性

1）采用光學幹涉技術、精密Z向（xiàng）掃描模塊和優異（yì）的3D重（chóng）建算法組（zǔ）成（chéng）測量係統，保證測量精度高；

2）獨特的隔振係統，能（néng）夠有（yǒu）效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動，消除地麵振動噪聲和空氣中聲波振動（dòng）噪聲，保障儀器在大部分的生產車間環境中能（néng）穩定使用，獲得（dé）極高的測（cè）量重複性。

2.一體化操作的（de）測量分析軟件

1）測量（liàng）與（yǔ）分析同界麵操作（zuò），無須切換，測（cè）量數據自動統計，實現了快（kuài）速（sù）批量測量的功能；

2）可視化窗口，便於用戶實時觀察掃描過程；

3）幾何分析、粗糙度（dù）分析、結構分（fèn）析、頻率分析、功能分析五大功能模（mó）塊齊全；

4）一（yī）鍵分析、多文件分析，自由組合分析項保存為分析模板，批（pī）量（liàng）樣品一鍵分析，並提供數據分析與統計圖（tú）表功（gōng）能；

5）可（kě）測依據ISO/ASME/EUR/GBT等標準的多達300餘種2D、3D參數。

3.精密操縱手柄（bǐng）

　　集成X、Y、Z三個方向位移調整功能的操縱（zòng）手柄，可快速完成載物台平移、Z向聚焦、找條紋（wén）等測量前工作。

 4.雙重防撞保（bǎo）護措施

　　除初級的軟件ZSTOP設置Z向（xiàng）位移（yí）下限位進行防撞保護（hù）外（wài），另（lìng）在Z軸上設計有機械電子傳感器，當（dāng）鏡頭觸碰到樣品表（biǎo）麵時，儀器（qì）自動（dòng）進入（rù）緊急停止狀態，最大限度的保護儀器，降低人為操作風險。

5.雙通（tōng）道氣浮隔振係統

　　既（jì）可以接入客戶現（xiàn）場（chǎng）的穩定氣源也可以接入標配靜音空壓機，在無外接氣源的條件下（xià）也可穩定工作。

五（wǔ）、應用案例：

六、樣品測試報告：

　　點擊表格內圖片或文字可查看詳細報告數（shù）據

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