一、產品簡介（jiè）

　　SuperView W1-Pro光學3D表麵輪廓儀是一款用於對各（gè）種精密器件及材料表麵（miàn）進（jìn）行亞納米級測（cè）量的檢測儀器。它（tā）是以白光幹涉技術為（wéi）原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件（jiàn）表麵進行非接觸（chù）式掃描並建（jiàn）立表麵（miàn）3D圖像，通過係統軟件對器件表麵3D圖像進行數據處理與分析，並獲取反映器（qì）件表麵質量的2D、3D參數，從而（ér）實現器（qì）件表麵形貌3D測量的光學（xué）檢測儀器。

　　SuperView W1-Pro光學3D表麵（miàn）輪廓儀可廣泛應用於半導體製造及封裝工藝檢測、3C電（diàn）子玻璃屏（píng）及其精密（mì）配件、光學加工（gōng）、微納材（cái）料及製造、汽車零部件、MEMS器件等超（chāo）精密加工行（háng）業及航空航天、國防軍工、科研院所等領域中。可測各類從超（chāo）光滑到粗糙、低反（fǎn）射率到高反射率的物體表麵，從納米到微米級別工件（jiàn）的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲（qǔ）率等，提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計（jì）300餘（yú）種2D、3D參數作為（wéi）評價標準。

二、產品功（gōng）能

1.係統光源及壽命：雙LED光源（白（bái）光和綠光），10萬小時超長壽命，終（zhōng）身無需（xū）更換；

2.測量（liàng）模式：垂直掃描幹涉模式（VSI），相移幹涉模（mó）式（PSI），結合VSI和PSI的自適應通用測量模式（USI）

3.多區（qū）域自動分析：自動獲取圖案化形貌區域的三維（wéi）信息（高（gāo）度、寬度、麵積、體積、粗糙度、傾角等），同時具有自動統計（jì）分析功能。

4.一體化操作的測量與分（fèn）析軟件，操（cāo）作無須進行切換界麵，預先設置好配置參數再進行測量（liàng），軟件自動統計測量（liàng）數據並提供數據報表導出功能，即可快速（sù）實現批量測量功能。

5.測量中提供自動多區域（yù）測量功能（néng）、批量測（cè）量、自動聚焦、自動調亮度（dù）等自動化功能。

6.測（cè）量中提（tí）供拚接測量功能。

7.分析中提供調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數據處理功能，其中調整位置包括圖像校平、鏡像等功能；糾正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功能；濾波包括去（qù）除外形、標準濾波、過（guò）濾頻譜等功能；提取包括提取區域和提取剖麵等功能。

8.分析中提供粗糙度分析、幾何（hé）輪（lún）廓分析、結構分析（xī）、頻率分析、功能分析等五大分析功能，其中粗糙度分析包括依據國際標準的ISO4287的線粗糙度、ISO25178麵粗糙度、ISO12781平整度等（děng）全參數分析功能；幾何輪廓分析包括台階高、距離、角度、曲（qǔ）率等特征測（cè）量和直線度、圓（yuán）度形位（wèi）公差評定等功能；結構分析包括孔洞體積和波穀深度等；頻率分析包括紋理方向（xiàng）和頻譜分析等功（gōng）能；功（gōng）能分析包括SK參數和體積參數等功能。

9.分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，設（shè）置分析模板，結合測量中提供的自（zì）動（dòng）測（cè）量和批量測量功能，可實現對小尺寸精密器（qì）件的批量測量並直接獲取分析數據的功能。

三、應用領域

　　對各種產品、部件和材料表麵的平麵度、粗糙度、波（bō）紋度、麵形輪廓（kuò）、表麵缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、台階高度、彎曲變形情況、加工情況等表麵形（xíng）貌特征進行測量和分析。

半導體.拋光（guāng）矽片（piàn）、減薄矽片、晶圓IC
3C電子.藍寶（bǎo）石玻璃粗糙度（dù）、手機金屬（shǔ）殼模具瑕疵、手（shǒu）機油墨屏高度差
超精密加工.光學透鏡	精密加工.發動（dòng）機葉片
精密加工（gōng）.金字塔型金剛石磁頭	標準樣塊.單刻線台階、多刻線粗糙度

四、應用案例：

五、樣品測試（shì）報告：

　　點擊表（biǎo）格內圖片或（huò）文（wén）字可查看詳細報告數據

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