一（yī）、 產品描述

　　SuperView W1光學3D表麵輪廓儀是一款用於對各種精密器件（jiàn）及材料表麵（miàn）進行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光幹涉技（jì）術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表麵進行非（fēi）接觸式掃描並建立表麵3D圖像，通過係統軟件對器件表麵3D圖像進行數據處理與分析，並獲取反映器件表麵質量的2D、3D參數（shù），從（cóng）而（ér）實現器件表麵形貌3D測量的光學檢測儀器。

　　SuperView W1光學3D表麵輪（lún）廓儀可廣泛應用於半（bàn）導體製造及封裝工藝檢（jiǎn）測、3C電子玻璃屏及其（qí）精密配件、光學加（jiā）工、微納材料及製造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、國防軍工、科研院所等領域中。可測各類（lèi）從超光滑到粗（cū）糙、低反射率到高反射率的物體表麵，從納米到微米（mǐ）級別工件的粗（cū）糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準（zhǔn）共計300餘種2D、3D參數作為評價標準。

二、產品功能

1）係統光源及壽命：雙LED光源（白（bái）光和綠光），10萬小時超長壽命，終身無需更換；

2）測量模式：垂直（zhí）掃描（miáo）幹（gàn）涉模式（VSI），相移幹涉模式（PSI），結合VSI和PSI的自適應通用（yòng）測量模式（USI）；

3）多區域自動分析：自動獲取圖案化形貌區域的三維信息（高度、寬度、麵積、體積、粗糙度、傾角等），同時具（jù）有自動（dòng）統計（jì）分析功能。

4）具備各種類型樣品表麵微觀形貌的3D輪廓重建與測量功能；

5）具備表麵粗糙度和微（wēi）觀輪廓的檢（jiǎn）測功（gōng）能，粗糙度範圍涵蓋0.1nm到數十微米的級別；

6）具備校（xiào）平、去除形狀、去噪、濾波等數據處理功能；

7）具備粗糙度分析、輪廓分析、結構分析、功能分析等表麵參數分析功能；

8）具備自動對（duì）焦、自動測量、自動多區域測量、自動（dòng）拚（pīn）接測量等自動化功能；

9）具備一鍵分析、多文件（jiàn）分析等快速、批量分析（xī）功（gōng）能；

10）具備word、excel等數據（jù）報表（biǎo）導出功能。

三、應用領域

　　對各（gè）種產品、部件和材料表麵的平麵度、粗糙度、波（bō）紋度、麵形（xíng）輪（lún）廓、表（biǎo）麵缺陷（xiàn）、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、台階（jiē）高度、彎曲變形情況、加工（gōng）情況等表麵形貌特（tè）征進行測量和分析。

應用範例：

半導體.拋（pāo）光矽片、減薄矽片、晶圓IC
3C電子（zǐ）.藍寶石玻璃粗糙度、手機金屬殼模具瑕疵、手機油（yóu）墨屏高度差
超精（jīng）密加工.光學透鏡	精密加工.發動機葉片
精（jīng）密加工.金字塔型金剛石磁頭	標準樣塊.單刻線台（tái）階、多刻線粗糙度

四、性能特色

1.高精度、高（gāo）重複性

1）采用光學幹涉技術、精密Z向掃描模（mó）塊和優異的（de）3D重建算法組（zǔ）成測量（liàng）係統（tǒng），保證測量精（jīng）度高；

2）獨特的（de）隔振係（xì）統，能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動，消除地麵振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲，保障儀器在大部分的生產（chǎn）車間（jiān）環境中（zhōng）能穩定使用，獲得極高的測量重複性。

2.一體化操作的測量分析軟件

1）測量與分析同界麵操作，無須切換，測量數據自動（dòng）統（tǒng）計，實現了快速批量測量的功能；

2）可視化窗口（kǒu），便於用戶（hù）實時觀察掃（sǎo）描過程；

3）幾何分析、粗（cū）糙度分析、結構分析、頻率分（fèn）析、功能分（fèn）析五大功能模塊齊全；

4）一鍵分析、多文件分析，自由組合分析項保存為分析模板，批量樣品一鍵分析，並提（tí）供數據分析與統計圖表功能；

5）可（kě）測依據ISO/ASME/EUR/GBT等標準的多達300餘種2D、3D參數。

3.精密操縱手柄

　　集成X、Y、Z三（sān）個方向位移調整功能的操縱手柄，可快（kuài）速完成載物台平移、Z向聚（jù）焦、找條紋等測量前工作。

 4.雙（shuāng）重防（fáng）撞（zhuàng）保護措施（shī）

　　除初級的軟件ZSTOP設置Z向位移下（xià）限位進行（háng）防（fáng）撞保護外，另在Z軸上設計（jì）有機械電子傳感器，當鏡頭觸碰到樣品表（biǎo）麵時，儀器自動進入緊急停止狀態，最大限度的保護儀器，降低人為操作風險。

5.雙通道氣浮隔振係統

　　既可以（yǐ）接入客戶現場的穩定（dìng）氣源也可以接入標配靜音（yīn）空壓機，在無外接氣源（yuán）的條件下也可穩定（dìng）工作。

五、應用案例：

六、樣品測試報告：

　　點擊表格內圖片或文字可查看詳細報告數據

懇請注意：因市場發展和產品開發的需要，本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。